控制智能化
适用于生产高质量6吋/8吋碳化硅晶体生长
产品特点
控制智能化
可导入多种预设长晶方式，根据使用需求进行一键切换。
工艺适配性好
可配备双加热器并独立控制，便于调整温度梯度。
运行稳定性强
水冷坩埚轴、籽晶轴旋转平稳；气压温度闭环控制，控制精度高。
其他优势
热场安装方便，籽晶液面接触检测，液面视觉检测。
技术参数
| 型号 | HTSG-RS-760 |
| 尺寸：整机长 x 宽 x 高 | 3000X2600X4700 mm |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 装料方式 | 上部装料 |
| 可选配置 | 热场及基础工艺包 |
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