高真空精度
适用于合成高纯碳化硅原料
产品特点
大装料量
一次装料量大，可实现1台设备对多台长晶炉，提高生产效率。
同频电源控温
采用1拖2同频电源，可有效控制轴向温度梯度。
红外测温
顶、底均可配红外测温，便于温场监控和工艺调试。
高真空精度
高真空、高控压精度、高控温精度，满足合成高纯碳化硅原料。
上下料安全
采用上进下出的上下料方式，安全可靠，可配置卸料叉车。
精确控制炉内的压力和气氛组
采用高精度蝶阀和质量流量计控制炉内压力，提供稳定的工艺气氛。
并排布置节省空间
设备可采用并排布置，节省空间，提高厂房利用率。
技术参数
| 尺寸：整机长X宽X高 | 4340x3560x4300mm |
| 炉室内径 | 1100mm |
| 装料量 | 50kg |
| 极限真空度 | 10-2Pa（分子泵启动后2h） |
| 腔体压升率 | 100pa/12h |
| 下炉盖升降行程 | 1500mm |
| 加热方式 | 加热方式 |
| 炉内最高温度 | 2400℃ |
| 加热电源 | 2X40KW |
| 测温方式 | 双色红外测温 |
| 测温范围 | 900~3000℃ |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 控压范围 | 1~700mbar |
| 控压精度 | 1~5mbar ±0.1mbar 5~100mbar ±0.2mbar 100~700mbar ±0.5mbar |
| 装料方式 | 下部装料 |
| 可选配置 | 双侧温点，卸料叉车 |
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