产品与服务

产品与服务

公司业务领域涉及半导体与太阳能光伏单晶硅生长及硅片切磨加工设备，太阳能光伏硅片、电池片清洗、制绒、刻蚀、组件串焊、叠焊设备，半导体薄膜生长设备(ALD、 PECVD、 LPCVD等)，蓝宝石、碳化硅等新型半导体材料晶体生长及切磨加工设备，以及硅料微波加热破碎、氩气净化回收设备。同时公司具备提供工业4.0背景下太阳能光伏智能制造、智慧工厂的解决方案及软硬件交付能力。

光伏装备

半导体装备

碳化硅装备

蓝宝石装备

客户服务中心

单刀头环线反切截断机 QDHA35100
双刀头截断机 QDHZ35850
双工位截断机 QDHS35850
四环线开方机 QHFA2395
磨倒一体机 LT-GMS2510
切片机 QP950
半片切片机 QP1200
半棒开磨一体机 MB1000
KX380PV
KX380PV-MCZ
KX420PV
KX460PV
湿法制绒设备
湿法刻蚀设备
湿法制绒设备
RCA槽式清洗设备
湿法制绒设备
背抛清洗设备
制绒清洗设备
全自动脱胶机
全自动硅料酸洗机
全自动插片清洗一体机
全自动脱插片清洗一体机
微波水淬辊破自动线
方棒微波加热自动线

单刀头环线反切截断机 QDHA35100

产品特点
1、领先理念，通过伺服上料台对接工件，实现反切工序自动化
2、高效稳定，可选双线双伺服张力配置，实现样片一次性切割
3、算法更新，优化张力控制、进给工艺，提高成品质量

双刀头截断机 QDHZ35850

产品特点
1、独创模式，实现截断工序头尾、样片自动化
2、高速高效，一次切割完成全部工序，单产≥6GW
3、自动调心，结合多重辅助支撑，提高表面垂直度，降低崩边

双工位截断机 QDHS35850

产品特点
1、创新理念，单刀双工位，随切随下料，提高自动化周转率
2、前置检测，提高定长段比率，实现单产≥3GW
3、后端送料，配备高精度检测机构，定长误差≤0.2mm

四环线开方机 QHFA2395

产品特点
1、产能优先，可实现1GW/1台超高产能
2、配备回转交换工作台，辅助时间≤30s
3、四环线同时切割，配合张力控制算法，极差≤0.15mm

磨倒一体机 LT-GMS2510

产品特点
1、自动上料定心，智能定位工件，提高异常棒兼容性
2、自动检测余量，智能匹配切深，提高加工效率≤30s
3、自动检测刀耗，智能补给损耗，提高成品精度
4、自动五维可纠偏上料台，可满足最小单边0.1mm余量磨削

切片机 QP950

产品特点
1、水平&竖直轴距最小且均可调
2、最多19档可选，可调轴距范围310-410mm
3、全规格兼容半片、整片、矩形片
4、单机可满足前/中/后端自动化上下料

半片切片机 QP1200

产品特点
1、水平&竖直轴距最小且均可调
2、半片专机或定制全规格兼容最多19档可选，可调轴距范围310-410mm
3、最大可切割1200mm棒长
4、单机可满足前/中/后端自动化上下料

半棒开磨一体机 MB1000

产品特点
1、全自动一体设备，单工位剖方+双工位磨面+四工位磨棱，全面提高加工效率
2、上料长宽高全检测，开方定位准，环线+伺服张力模式，提高极差，降低硅损
3、采用粗精嵌套式电主轴，配合检测及补偿系统，保证成品尺寸精度
4、单机产能高，通过此方案兼容半棒加工，投资更低 产出更高

KX380PV

最大可兼容至40吋热场，满足更大投料量，更大规格晶棒的生长需求，预留多种可升级模块，技术升级性价比高。

KX380PV-MCZ

满足低氧拉晶需求，更高少子寿命，多配置选装提供更多机型选择空间。

KX420PV

最大可兼容至42吋热场，满足更大投料量，更大规格晶棒的生长需求，预留多种可升级模块，技术升级性价比高。

KX460PV

最大可兼容至42吋热场，满足更大投料量，更大规格晶棒的生长需求，预留多种可升级模块，技术升级性价比高。

湿法制绒设备

产品功能
1.去除切割损伤层和表面脏污
2.使用强碱腐蚀晶体硅表面形成规则金字塔状绒面，增加硅片对太阳光的吸收，降低反射率
3.增加硅片表面积，进而PN结面积也响应增加

湿法刻蚀设备

产品功能
去除背面PSG和抛光处理。

湿法制绒设备

产品功能
1.使用强碱腐蚀在硅片背面抛光形成近似镜面的绒面结构，提高硅片对长波的吸收
2.增加背钝化膜的膜厚均匀性
3.降低了背面的表面积，提升了少子寿命，降低背面复合速率

RCA槽式清洗设备

产品功能
1.去除PSG
2.去除多晶硅沉积的正面(LPCVD)PECVD绕镀层，去除表面剩余的BSG

湿法制绒设备

产品功能
1.去除切割损伤层和表面脏污
2.使用强碱腐蚀晶体硅表面形成规则金字塔状绒面，增加硅片对太阳光的吸收，降低反射率
3.增加硅片表面积，进而PN结面积也响应增加

背抛清洗设备

产品功能
硅片抛光处理。

制绒清洗设备

产品功能
硅片正面绒面产生，背面区域打开。

全自动脱胶机

产品功能
对切片后的硅片进行脱胶

全自动硅料酸洗机

产品功能
具HF+HN03混合酸液腐蚀清洗和试剂（弱 酸） 浸泡清洗两种工艺清洗功能。

全自动插片清洗一体机

配备吸水板、花篮定位、慢提拉、烘干槽等专利技术，高效分片，降低碎片率。
采用日本基恩士总线通讯系统，绝对值总线伺服，可快速抓取处理生产数据，实现智能监控。
兼容各种规格的硅片尺寸，各尺寸切换时间不超过4小时。

全自动脱插片清洗一体机

整刀送料、不间断连续发片、插片的功能以提高产能；另外通过机构的改进，实现满篮换蓝时间的极小化，从而使整机的插片产能释放至最优。
硅片脱胶、插片一体化和自动化，减少周转环节；上料全自动化、一人多机节省人工。
通过统一自动控制实现脱胶和插片真正一体化。

微波水淬辊破自动线

设备构成
设备采取微波加热耦合冷水淬裂、达到连续生产、减少污染、降低硅损的目的。
经水淬破碎成的多晶硅原料，投炉便捷、晶块受热均匀，更容易熔化。

方棒微波加热自动线

设备说明
应用于硅棒粘胶工段
微波连续加热方式将硅棒快速加热至指定温度区间
效率高、安全性高
单刀头环线反切截断机 QDHA35100
双刀头截断机 QDHZ35850
双工位截断机 QDHS35850
四环线开方机 QHFA2395
磨倒一体机 LT-GMS2510
切片机 QP950
半片切片机 QP1200
半棒开磨一体机 MB1000
KX380PV
KX380PV-MCZ
KX420PV
KX460PV
湿法制绒设备
湿法刻蚀设备
湿法制绒设备
RCA槽式清洗设备
湿法制绒设备
背抛清洗设备
制绒清洗设备
全自动脱胶机
全自动硅料酸洗机
全自动插片清洗一体机
全自动脱插片清洗一体机
微波水淬辊破自动线
方棒微波加热自动线