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公司业务领域涉及半导体与太阳能光伏单晶硅生长及硅片切磨加工设备，太阳能光伏硅片、电池片清洗、制绒、刻蚀、组件串焊、叠焊设备，半导体薄膜生长设备(ALD、 PECVD、 LPCVD等)，蓝宝石、碳化硅等新型半导体材料晶体生长及切磨加工设备，以及硅料微波加热破碎、氩气净化回收设备。同时公司具备提供工业4.0背景下太阳能光伏智能制造、智慧工厂的解决方案及软硬件交付能力。

光伏装备

连续加料直拉单晶炉 CCz

主要技术指标
1、整机尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室内径1400mm，副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz热场，可拉制10英寸以下直径的晶体;
3、加热方式:电阻加热，DC电源Pmax=150:50Kw，频率50Hz;

数控滚磨机 LQ003PF

主要技术指标
1、加工晶棒直径:4~8英寸
2、加工晶棒长度:≤400mm
3、椭圆度:≤0.05mm

数控平面磨床 LQ016/LQ018

设备优势
主要部件均采用知名品牌,稳定性高,耐用性强。
采用精度P3级滚珠丝杆传动,精度高。
铸件采用高等级灰口铸铁,具有更好的抗弯及抗扭应力。
可选配三级过滤水箱或纸带式过滤器,保持切削液清洁，提高加工性能及刀具寿命,减少环境污染。
硬轨全人工刮研,导轨贴合面采用贴塑处理,降低阻尼系数,提高机床精度。
可选配常规、密集型以及一体式电磁吸盘,通用性强。

碳化硅感应生长炉

设计优点
1、满足6吋/8吋晶体生长;
2、一键智能启动，减少人工干预，利于规模化生产;
3、PVT-MF-50型碳化硅感应式长晶炉适用于生长高质量六吋碳化硅单晶、高纯度碳化硅原料合成、晶体退火等领域。

碳化硅电阻式长晶炉

设计优点
1、结构紧凑，可采用并排布局，提高厂房利用率;
2、满足6-8寸半绝缘/导电晶体生长需求;
3、PVT-RS-40型碳化硅电阻式长晶炉适用于生长高质量6-8吋碳化硅单晶、高纯度碳化硅原料合成、晶体退火等领域。

碳化硅管式合成炉

设计优点
1、填补了市场上专门用于合成原料的设备，提高原料合成效率;
2、一键智能启动，减少人工干预，利于规模化生产;
3、紧凑立体化的整机设计，方便布局，提高厂房利用率。

碳化硅金刚线截断机 LQJD3010

设计优点
1、设备可以使用30m/s的高线速度稳定切割,切割效率高,产出比高;
2、设备可以自行选择旋转、线摇摆和料摇摆加工方式,更好的实现工艺的多种需求;
3、设备的加工精度高，截断样片的TTV均值30μm以内,远超同行业水平;
4、设备可以稳定使用0.18mm金刚线，张力控制精准,细线化在料损上控制非常优秀;
5、设备使用汇川最高级别的IS810系列控制器，配置高精度伺服电机13个;
6、收放线系统排布在设备左右两侧,有效降低振动产生的影响,大幅度提升加工精度;

退火炉 VAF600

设计优点
1、设备结构紧凑;
2、采用环状加热结构，炉体温度均匀性好;
3、自动调节温度;
4、精确真空控制;
5、产品兼容范围大，根据产品尺寸更换载具就可轻易实现换型。