产品与服务


公司业务领域涉及半导体与太阳能光伏单晶硅生长及硅片切磨加工设备,太阳能光伏硅片、电池片清洗、制绒、刻蚀、组件串焊、叠焊设备,半导体薄膜生长设备(ALD、 PECVD、 LPCVD等),蓝宝石、碳化硅等新型半导体材料晶体生长及切磨加工设备,以及硅料微波加热破碎、氩气净化回收设备。同时公司具备提供工业4.0背景下太阳能光伏智能制造、智慧工厂的解决方案及软硬件交付能力。

全自动数控滚磨机 LQGM2060/3060
金刚线截断机 LQJD33250P
半导体切片机 LQQP2060/3060
晶体生长炉 KX360MCZ
晶体生长炉 KX320-600

全自动数控滚磨机 LQGM2060/3060


主要技术指标
加工棒料直径:6-8英寸/12英寸
加工棒料长度:600mm/450mm
椭圆度:≤0.06mm

金刚线截断机 LQJD33250P


设备优势
1、硅棒由桁架机械手自动上料,配置安全防护网和安全光栅;
2、切割头采用龙门双立柱结构,结构稳定可靠,故障率低,切割效率高,精度高;
3、截断后的硅棒自动退送至下料区,方便下料搬运,客户可以选配全自动下料装置;

半导体切片机 LQQP2060/3060


设备优势
1、张力传感器量程为30N控制精度更高。
2、辅助浆管专利技术,主、副流量单独可控;
3、低惯量轻质一体过轮,为总成结构更换方便;

晶体生长炉 KX360MCZ


设计优点
1、应用领域:轻掺、磁控;
2、在出现拉晶断棱回熔以及硅料复投等非正常拉晶工艺时,都可从系统中选择相应的自动工序来运行;
3、配置国际领先品牌磁场,中心场强可达4000GAUSS,磁场分布均匀,利于生长高品质半导体晶体。

晶体生长炉 KX320-600


设计优点
1、世界首台拉制24英寸晶体单晶炉;
2、喉口直径650mm,最大可拉制600mm单晶硅棒;
3、可预留磁场升降机构安装空间。
全自动数控滚磨机 LQGM2060/3060
金刚线截断机 LQJD33250P
半导体切片机 LQQP2060/3060
晶体生长炉 KX360MCZ
晶体生长炉 KX320-600