PVT-MF-46F
碳化硅感应生长炉
适用于6/8英寸导电和高纯半绝缘型SiC晶体生长，创新的结构设计，可提供高纯材料生长能力，拥有高精度的控温、控压能力，工艺性能优良，设备一致性好，具有丰富的量产经验。
智能启动 适用广泛
适用于6/8英寸导电和高纯半绝缘型SiC晶体生长，创新的结构设计，可提供高纯材料生长能力，拥有高精度的控温、控压能力，工艺性能优良，设备一致性好，具有丰富的量产经验。
产品特点
智能启动
一键智能启动，减少人工干预，利于规模化生产。
适用广泛
适用于6、8英寸，导电/高纯半绝缘型SiC晶体生长。
专业设计
专业的结构设计，提供高纯材料生长能力。
适于长时高温低压
适于长时/高温/低压工艺，拓宽高质量/大规模晶体生长窗口。
多辅助设备支持
包含多款辅助设备，大产能原料合成炉、晶锭退火炉及其他。
温场均匀
通过实验不断优化热场结构设计，使得温度梯度更加均匀，减少传统热场局部高温、碳化等问题。
低功耗
整体式线圈设计降低噪音，降低功耗。
技术参数
| 型号 | PVT-MF-46F |
| 尺寸：整机长 x 宽 x 高 | 2100x1150x3500mm |
| 加热方式 | 感应加热 |
| 可选配置 | 坩埚旋转、双测温点 |
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