VAF-600

退火炉

适用于碳化硅晶体退火环节
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设备结构紧凑

适用于碳化硅晶体退火环节
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产品特点

 

设备结构紧凑

采用环状加热结构，炉体温度均匀性好

自动调节温度

精确真空控制

产品兼容范围大，根据产品尺寸更换载具就可轻易实现换型

 

 

技术参数


 
型号 VAF-600
尺寸：整机长 x 宽 x 高 1800X1600X1800mm
加热温度 Max2250℃
温度控制精度 ±1℃

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