设备结构紧凑
适用于碳化硅晶体退火环节
产品特点
设备结构紧凑
采用环状加热结构,炉体温度均匀性好
自动调节温度
精确真空控制
产品兼容范围大,根据产品尺寸更换载具就可轻易实现换型
技术参数
型号 | VAF-600 |
尺寸:整机长 x 宽 x 高 | 1800X1600X1800mm |
加热温度 | Max2250℃ |
温度控制精度 | ±1℃ |
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Copyright©2024
设备结构紧凑
采用环状加热结构,炉体温度均匀性好
自动调节温度
精确真空控制
产品兼容范围大,根据产品尺寸更换载具就可轻易实现换型
型号 | VAF-600 |
尺寸:整机长 x 宽 x 高 | 1800X1600X1800mm |
加热温度 | Max2250℃ |
温度控制精度 | ±1℃ |
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