宽度可调布局通透

去除扩散后硅片背面及边缘的PSG，防止PN结短路。背面抛光处理，提升钝化效果。

产品特点

宽度可调

料台归正宽度可调，兼容更多规格的硅片，为后续硅片更大产能改造提供了预留窗口。

布局通透

设备布局前后通透，给设备使用者提供了最大的便捷性。

精准补液

补液系统采用PFA材质高精度计量。

稳定传动

传动系统高稳定性，有效降低了设备后续维护保养难度。

强力风机

搭配高功率高压鼓风机，动力强劲。

高效过滤

风机前后中配置高效空气过滤，洁净度有保证。

便捷保养

过滤器采用快拆结构，后期保养简单、便捷。

功能	去除背面PSG和抛光处理
产能	去PSG 12道产能≥14500PCS/H(182) 去PSG 12道产能≥12500PCS/H(210) 槽式抛光≥14500PCS/h(6篮182);≥11500PCS/h(4篮182) 槽式抛光≥12000PCS/h(6篮210);≥9600PCS/h(4篮210) 碎片率≤0.01%, Uptime≥98% 速度：1-4.5m/min可调
优势	1.闭环运动控制系统，保证输送机构运动平稳性 2.抛光槽：上表面采用水膜保护及滚轮带液方式，完整的保护正面的同时，对背面作抛光处理 3.烘干槽：采用高压风机+高效过滤器的方式，链式去PSG+槽式碱抛设备，设备产能大，稳定性好 4.进口PLC控制，稳步提升设备的产能 5.慢提拉采用机械臂慢提方式，设备满足干湿分离，匹配高效电池发展趋势 6.可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度 7.工艺槽采用经典的内外槽循环模式，能快速有效的将新添加药水以及添加剂充分搅拌均匀，槽内控温精度误差<±1℃