进口PLC控制精准控温

针对N型硅片双面制绒，形成超细绒面，适配隧穿氧化层沉积。集成臭氧氧化工艺，降低有机物残留。

产品特点

进口PLC控制

进口PLC控制，稳步提升设备的产能。

机械臂慢提

慢提拉采用机械臂慢提方式，设备满足干湿分离，匹配高效光伏电池发展趋势。

无金属制程

可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度。

精准控温

工艺槽采用经典的内外槽的循环模式，能快速有效的将新添加药水以及添加剂充分搅拌均匀，槽内控温精度误差＜±1℃。

功能	1. 使用强碱腐蚀在硅片背面抛光形成近似镜面的绒面结构 2. 增加背钝化膜的厚度均匀性 3. 降低了背面的表面积，提升了少子寿命，降低背面复合速率
产能	≥16000PCS/h(6篮182);≥12000PCS/h(4篮182) ≥13500PCS/h(6篮210);≥10000PCS/h(4篮210) 碎片率≤0.01% Uptime≥98%
优势	1.进口PLC控制，稳步提升设备的产能 2.慢提拉采用机械臂慢提方式，设备满足干湿分离，匹配高效电池发展趋势 3.可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度 4.工艺槽采用经典的内外槽循环模式，能快速有效的将新添加药水以及添加剂充分搅拌均匀，槽内控温精度误差<±1℃