微波加热水淬系统


功能:使用物理方式改变硅料的物理结构使之更易碎
原理:先微波加热再纯水冷却的方式,改变硅料物理结构

穿透加热 降低能耗


流程:人工将硅棒放置于石英托盘中,硅棒经自动线的加热、水淬、烘干等工艺
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产品特点

 

穿透加热

微波加热为穿透加热,内外温度同时上升,对硅料产生的影响较小

降低能耗

加工效率高,硅料内部及表面温差较小,可达到温度要求

均匀性好

硅棒经水淬后,硅料破碎后尺寸均匀

 

 

技术参数

 
产品名称 微波加热水淬系统
工作方式 微波加热
适用场景 多晶棒料/复拉料/头尾
产能(t/天) 40
设备工作环境温度(℃) 10-40
电压(VAC±10%) 380
额定功率/工作功率(W) 550,000/160,000
压缩空气 0.4-0.6MPa,8m³/h
排风(m³/h) 15000
外形尺寸(m,L×W×H) 21×4.5×3.5(根据实际现场布局定)
总重(t,满载) 约35
进料规格(mm) 直径≤310
传输速度(m/min) 0-4
微波频率(MHz) 2450
微波泄漏(国标5mw/㎡) <4
温度检测 实时检测,超温报警

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