一键拉晶 简易操作 多种升级
最大可兼容至40吋热场,满足更大投料量,更大规格单晶硅棒的生长需求。
产品特点
一键拉晶
一键智能拉晶技术提升生产运行自动化程度及效率。
简易操作
简单的操作界面含多项特有设计,提升生产安全性。
多种升级
预留多种可升级模块,技术升级性价比高。
技术参数
主室尺寸 | Φ1600x2050mm |
喉口尺寸 | Φ410mm |
副室尺寸 | Φ410x5500mm |
闭合高度 | 12.04m |
打开高度 | 13.09m |
设备总重 | 约16t |
坩埚直径 | 33" 、37" 、 40" |
装料量 | 700kg 、1000kg、 1200kg |
可选配置 | 一键拉晶模块 延长室 真空泵-4202大泵 自动清灰过滤罐 循环水流量计 外置加料装置接口(OCZ&CCz ) 热场组件 取晶车/热场转运车 高效加热电源 专用工装工具 低氧拉晶方案2.0 |
Copyright©2024