循环节约 浓度可控
在长晶的过程中根据进料量进行实时加料,掺杂。
产品特点
循环节约
节约循环段化料和稳温时间。
浓度可控
坩埚内溶液量稳定可控,掺杂剂浓度可控。
产量稳定
不需要靠扩大坩埚尺寸提升单炉产量。
温度稳定
温度梯度相对稳定(等径阶段无坩埚升降运动)。
安全提升
更少装料,漏硅危险系数低,更安全。
技术参数
硅料一次装填量 | ≤600kg(具体视料块规格) |
母合金一次装填量 | ≤3kg(具体视料块规格) |
加料速度 | ~6kg/min |
加料器行程 | 700mm |
设备总重 | 1470kg(不含硅料) |
设备尺寸 | 2080*1500*2800mm |
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