CCz 侧方加料装备


在长晶的过程中根据进料量进行实时加料,掺杂。

循环节约 浓度可控


在长晶的过程中根据进料量进行实时加料,掺杂。
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产品特点

 

循环节约

节约循环段化料和稳温时间。

浓度可控

坩埚内溶液量稳定可控,掺杂剂浓度可控。

产量稳定

不需要靠扩大坩埚尺寸提升单炉产量。

温度稳定

温度梯度相对稳定(等径阶段无坩埚升降运动)。

安全提升

更少装料,漏硅危险系数低,更安全。

 

 

技术参数

 
硅料一次装填量 ≤600kg(具体视料块规格)
母合金一次装填量 ≤3kg(具体视料块规格)
加料速度 ~6kg/min
加料器行程 700mm
设备总重 1470kg(不含硅料)
设备尺寸 2080*1500*2800mm

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