成本更低产能更高

最大可兼容至42吋热场，满足更大投料量，更大规格单晶棒的生长需求。

产品特点

成本更低, 产能更高

单产高至200+ Kg天、热场功耗更低: 等径功率低至 42KW、用水量更低，冷却水流量低至 20 m³/h。

品质更高

严格控氧、电阻率更均匀、少子寿命更高。

兼容更广

热场最大42吋，硅棒直径最大16吋、兼容CCz，兼容磁场。

智能拉晶

集成基于设备大数据的BI与AI, 优化全工艺流程、一键智能拉晶, 拉晶全流程自动化, 自动推荐引晶功率, 自动引放判断准确率 ≥ 99%、准确性、稳定性及安全性更好的AI视觉检测和自动放埚等模块，带给客户更高效的自动化生产率和无人化运行。

单晶车间全套自动化

原料处理自动化, 检验自动化, 运输自动化。

主室尺寸	Φ1800x2100mm
喉口尺寸	Φ450mm
副室尺寸	Φ450x5500mm
闭合高度	12.14m
打开高度	13.19m
设备总重	约18t
坩埚直径	33" 、37" 、 40" 、 42"
装料量	700kg 、1000kg、 1200kg、1300kg
可选配置	一键拉晶模块延长室真空泵-4202大泵自动清灰过滤罐循环水流量计外置加料装置接口（OCZ&CCz ) 热场组件取晶车/热场转运车高效加热电源专用工装工具低氧拉晶方案2.0