高产能 一体化自动化
集成脱胶、清洗、干燥、插片全流程,实现硅片从线切割到入篮的自动化生产。
产品特点
高产能
整刀送料、不间断连续发片、插片的功能以提高产能;实现满篮换篮时间的极小化,从而使整机的插片产能释放至最优。
一体化自动化
硅片脱胶、插片一体化和自动化,减少周转环节;上料全自动化、一人多机节省人工。
统一自动控制
通过统一自动控制实现脱胶和插片真正一体化。
技术参数
类别 | 硅片尺寸 | 参数 |
产能 | 182mm及以上 210mm |
≧14000pcs/h ≧12000pcs/h |
薄片 | 182mm及以上 210mm |
厚度110-200μm 厚度110-200μm |
崩边率 | 182mm及以上 210mm |
≦0.5% ≦0.6% |
碎片率 | 182mm及以上 210mm |
≦0.2% ≦0.2% |
烘干率 | 182mm及以上 210mm |
100% 100% |
兼容性 | 166/182/210/220/230/240 |
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