高效清洗 节能环保
用于硅片线切割后的脱胶工艺，通过高温软化胶水实现硅片与基板分离。
产品特点
自动化流程
采用单臂机械手输送，支持自动配酸液、加热及二次脱胶工艺，降低人工干预。
高效清洗
配置多槽喷淋和超声清洗单元，结合在线加热，提升脱胶效率。
节能环保
脏水回收过滤重复利用，减少耗水量；排酸气抽风装置降低环境污染，设备具备乳酸单独回收功能。
配置丰富
自动去边皮、边皮自动称重、晶托自动码垛、晶托自动出料等。
技术参数
| 主要功能 | 对切片后的硅片进行脱胶 |
| 过程控制 | 品牌PLC自动控制，设备自动处理 |
| UPTIME | 98%(24h/天，年工作日在353天以上) |
| 生产时间 | 三班制(注：一天工作24h/天，330天/年) |
| 产能 | ≧180板/天 |
| 节拍 | ≦7.5分/板(用户自定，可调) |
| 适应晶棒 | 兼容4~8寸的各种晶托 |
| 适应尺寸 | 各槽体尺寸：满足1000mm晶棒(含铁板、铝尾座)放入槽体运行 |
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