产品与服务


公司业务领域涉及半导体与太阳能光伏单晶硅生长及硅片切磨加工设备,太阳能光伏硅片、电池片清洗、制绒、刻蚀、组件串焊、叠焊设备,半导体薄膜生长设备(ALD、 PECVD、 LPCVD等),蓝宝石、碳化硅等新型半导体材料晶体生长及切磨加工设备,以及硅料微波加热破碎、氩气净化回收设备。同时公司具备提供工业4.0背景下太阳能光伏智能制造、智慧工厂的解决方案及软硬件交付能力。

湿法制绒设备
湿法刻蚀设备
湿法制绒设备
RCA槽式清洗设备
湿法制绒设备
背抛清洗设备
制绒清洗设备
全自动脱胶机
全自动硅料酸洗机
全自动插片清洗一体机
全自动脱插片清洗一体机

湿法制绒设备


产品功能
1.去除切割损伤层和表面脏污
2.使用强碱腐蚀晶体硅表面形成规则金字塔状绒面,增加硅片对太阳光的吸收,降低反射率
3.增加硅片表面积,进而PN结面积也响应增加

湿法刻蚀设备


产品功能
去除背面PSG和抛光处理。

湿法制绒设备


产品功能
1.使用强碱腐蚀在硅片背面抛光形成近似镜面的绒面结构,提高硅片对长波的吸收
2.增加背钝化膜的膜厚均匀性
3.降低了背面的表面积,提升了少子寿命,降低背面复合速率

RCA槽式清洗设备


产品功能
1.去除PSG
2.去除多晶硅沉积的正面(LPCVD)PECVD绕镀层,去除表面剩余的BSG

湿法制绒设备


产品功能
1.去除切割损伤层和表面脏污
2.使用强碱腐蚀晶体硅表面形成规则金字塔状绒面,增加硅片对太阳光的吸收,降低反射率
3.增加硅片表面积,进而PN结面积也响应增加

背抛清洗设备


产品功能
硅片抛光处理。

制绒清洗设备


产品功能
硅片正面绒面产生,背面区域打开。

全自动脱胶机


产品功能
对切片后的硅片进行脱胶

全自动硅料酸洗机


产品功能
具HF+HN03混合酸液腐蚀清洗和试剂(弱 酸) 浸泡清洗两种工艺清洗功能。

全自动插片清洗一体机


配备吸水板、花篮定位、慢提拉、烘干槽等专利技术,高效分片,降低碎片率。
采用日本基恩士总线通讯系统,绝对值总线伺服,可快速抓取处理生产数据,实现智能监控。
兼容各种规格的硅片尺寸,各尺寸切换时间不超过4小时。

全自动脱插片清洗一体机


整刀送料、不间断连续发片、插片的功能以提高产能;另外通过机构的改进,实现满篮换蓝时间的极小化,从而使整机的插片产能释放至最优。
硅片脱胶、插片一体化和自动化,减少周转环节;上料全自动化、一人多机节省人工。
通过统一自动控制实现脱胶和插片真正一体化。
湿法制绒设备
湿法刻蚀设备
湿法制绒设备
RCA槽式清洗设备
湿法制绒设备
背抛清洗设备
制绒清洗设备
全自动脱胶机
全自动硅料酸洗机
全自动插片清洗一体机
全自动脱插片清洗一体机